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针对目前ITO膜In、Sn等材料自然储量少、制备工艺复杂、有毒、稳定性差的缺点，提出了代替ITO膜的ZAO薄膜。从该膜的基本性能入手介绍了它的优点，国内研究及发展现状。
ZAO薄膜的研究现状及发展趋势
【摘 要】
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针对目前ITO膜In、Sn等材料自然储量少、制备工艺复杂、有毒、稳定性差的缺点，提出了代替ITO膜的ZAO薄膜。从该膜的基本性能入手介绍了它的优点，国内研究及发展现状。
【机 构】
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东北大学机械工程与自动化学院,中国科学院金属研究所
【出 处】
：
真空与低温
【发表日期】
：
2001年3期
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