【摘 要】
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微细加工技术发展研究ResearchonMicrofabricationTechnology谢常青,陈梦真(中国科学院微电子中心,北京100010)微细加工技术是集成电路(IC)工业的基础,是半导体器件研究的必要手段。其中的IC以动态随机存储器(DR...
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微细加工技术发展研究ResearchonMicrofabricationTechnology谢常青,陈梦真(中国科学院微电子中心,北京100010)微细加工技术是集成电路(IC)工业的基础,是半导体器件研究的必要手段。其中的IC以动态随机存储器(DR...
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