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微细加工技术发展研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＭｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ谢常青，陈梦真（中国科学院微电子中心，北京１０００１０）微细加工技术是集成电路（ＩＣ）工业的基础，是半导体器件研究的必要手段。其中的ＩＣ以动态随机存储器（ＤＲ...
微细加工技术发展研究
【摘 要】
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微细加工技术发展研究ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＭｉｃｒｏｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ谢常青，陈梦真（中国科学院微电子中心，北京１０００１０）微细加工技术是集成电路（ＩＣ）工业的基础，是半导体器件研究的必要手段。其中的ＩＣ以动态随机存储器（ＤＲ...
【机 构】
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中国科学院微电子中心
【出 处】
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科技导报
【发表日期】
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1995年1期
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