【摘 要】
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一、引言 随着微电子技术的发展,对半导体压力传感器的灵敏度、选择性、精度、稳定性、可靠性等方面提出了更高的要求。因此设计一种理想的膜片是提高压力传感器质量和性能
【机 构】
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辽宁大学物理系,辽宁大学物理系,辽宁大学物理系
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一、引言 随着微电子技术的发展,对半导体压力传感器的灵敏度、选择性、精度、稳定性、可靠性等方面提出了更高的要求。因此设计一种理想的膜片是提高压力传感器质量和性能的关键。本文分析了影响半导
I. INTRODUCTION With the development of microelectronic technology, the semiconductor pressure sensor sensitivity, selectivity, accuracy, stability, reliability and so put forward higher requirements. Therefore, designing an ideal diaphragm is the key to improving the quality and performance of the pressure sensor. This article analyzes the influence of semiconductors
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