方形膜相关论文
铝锰青铜 EP．AM9—2可以代替锡青铜EP.OцC5—5—5、BP.OцC8—4—3及Ep.OцC6—6—3等;这种铜合金的流动性极好,很适宜于浇铸铸件,......
提出了一种新的电容式压力传感器,传感器结构为由Al/SiO2/n-typeSi等三层方形膜构成的固态电容.传感器采用pn结自停止腐蚀和粘结剂......
通过对微电容式压力传感器的结构和工作原理进行分析,建立基于模糊模型法的数学模型,开发相应的算法程序,对微电容式压力传感器进......
半导体压力传感器的硅杯是决定其性能优劣的关键结构,它是在芯片背面制造的,图1是压力传感器剖面图.
The silicon cup of the sem......
本文用解析方法导出了在(001)、(101)、(111)、(112)圆膜,(001)方膜和长方膜中心的横向压阻力敏器件的灵敏度表示式,并以实验验证......
近几年来,随着具有微型传感器特征的硅IC 制造技术的迅速发展,以硅作衬底材料的扩散型压力传感器以及把传感器和信号处理回路制造......
作者运用加权残量法求解了正方形、矩形膜片在周边固支边界条件下的压力-挠度关系式及应力分布公式,介绍了正方形、矩形膜片力敏器......
我们采用各向异性腐蚀技术制造硅杯,因此该工艺的要求使得我们不能采用常规力敏元件的圆形膜片,而必须采用正方形或矩形膜片。 对......
一种灵敏的光激励谐振器压力传感感 近年来硅微机械谐振传感器,特别是用光热方法激励和光学方法检测谐振器固有频率的那些传感器......
本文介绍在IBM系列及其兼容系列微型机上,实现硅压力传感器中硅杯结构的应力分析方法和软件.该软件对微机软、硬件资源的要求很低,......
覆着气敏层的叉指式电容适于用微电子技术使气体传感器集成化,它们能通过安装在加热膜上而使其温度稳定,但通常都面临着通过该加热......
详细讨论了压阻型压力传感器设计中若刊重要问题。这些问题是合理利用压阻系数和膜上的应力，电阻条的布置和设计以及可靠性。
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