【摘 要】
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集成电路参数成品率的研究是集成电路可制造性工程和设计研究的重要内容之一。作者首先给出了参数成品率的计算模型;其次讨论了模拟参数成品率的原理和算法;最后给出了参数成品
【基金项目】
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“8 6 3”基金!(86 3-5 11-841-0 0 7),国防预研基金!(96 J8.3.3DZ0 134)资助项目
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集成电路参数成品率的研究是集成电路可制造性工程和设计研究的重要内容之一。作者首先给出了参数成品率的计算模型;其次讨论了模拟参数成品率的原理和算法;最后给出了参数成品率的优化模型和求解方法。
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