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采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响。热丝经充分碳化后能发射出更多热电子,进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3^+,使金刚石晶核的孕育期大为缩短,3min内即可在未经表面预处理Si衬底上获得10^10cm^-2以上的高晶核密度。