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采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响。热丝经充分碳化后能发射出更多热电子，进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3^+，使金刚石晶核的孕育期大为缩短，3min内即可在未经表面预处理Si衬底上获得10^10cm^-2以上的高晶核密度。
热丝碳化促进CVD金刚石成核增强的物理机制
【摘 要】
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采用扫描电镜、X射线衍射及喇曼光谱等手段研究了HFCVD过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响。热丝经充分碳化后能发射出更多热电子，进而从反应气体中激发出更多原子H和CH3^+
【机 构】
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浙江大学物理系,浙江大学中心实验室
【出 处】
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功能材料
【发表日期】
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2002年1期
【基金项目】
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浙江省自然科学基金资助项目（596030）
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