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描述了相位光栅对准法在步进重复投影光刻机中的运用,通过比较同轴对准系统和离轴对准系统的原理,工作过程,阐述了当对准标记产生变形时离轴对准系统能更好地修正偏差从而保证光刻工艺中套刻精度的要求。
投影光刻中相位光栅对准标记变形解决方案
【摘 要】
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描述了相位光栅对准法在步进重复投影光刻机中的运用,通过比较同轴对准系统和离轴对准系统的原理,工作过程,阐述了当对准标记产生变形时离轴对准系统能更好地修正偏差从而保
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年6期
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