【摘 要】
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设计了一种称之为晶硅覆盖树权状结构的双极型微波功率晶体管。该器件采用掺砷多晶硅发射极，同时具备有覆盖和树枝状两种图形结构的优点，器件引入扩散电阻和分布式多晶硅电阻组
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设计了一种称之为晶硅覆盖树权状结构的双极型微波功率晶体管。该器件采用掺砷多晶硅发射极，同时具备有覆盖和树枝状两种图形结构的优点，器件引入扩散电阻和分布式多晶硅电阻组合而成的发射极复合镇流电阻，实现对发射极电流二次镇流，器件表现出良好的微波性能和高的可靠性，经内匹配，在Ｌ波段脉冲输出大于１００Ｗ（３６Ｖ）脉宽１５０μｓ工作比１０％，增益大于７．５ｄＢ效率大于４５％，器件最大输出达１５０Ｗ（４２Ｖ）。
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