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本文研究了过滤式阴极电弧沉积方法获得的类金刚石薄膜．实验研究电弧的稳定性和探针电流与沉积参数的关系，并系统研究了膜层的性能．膜层的摩擦性能也得到了研究．
Experimental Research of DLC Film Deposited by Filtered Vacuum Arc Evaporation
【摘 要】
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本文研究了过滤式阴极电弧沉积方法获得的类金刚石薄膜．实验研究电弧的稳定性和探针电流与沉积参数的关系，并系统研究了膜层的性能．膜层的摩擦性能也得到了研究．
【机 构】
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东南大学分子电子与生物电子学实验室,南京航空航天大学机电工程学院,兰州物理化学研究所摩擦润滑开放实验室
【出 处】
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Journal of Southeast University(English Edition)
【发表日期】
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1999年1期
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