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研究了在紫铜基材上用离子束增强沉积法沉积ＴｉＢ２薄膜后，在６００，７００和８００℃的空气中氧化的动力学；在１ＮＨ２ＳＯ４溶液中，用动电位扫描法测定了其极化阻力，用ＳＥＭ观察了其形貌，用俄歇电子谱仪分析了膜的成分，用Ｘ－射线衍射仪研究了膜的微观结构；讨论了ＴｉＢ２薄膜具有优良耐蚀性的机理。
离子束增强沉积TiB2薄膜的耐蚀性能研究
【摘 要】
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研究了在紫铜基材上用离子束增强沉积法沉积ＴｉＢ２薄膜后，在６００，７００和８００℃的空气中氧化的动力学；在１ＮＨ２ＳＯ４溶液中，用动电位扫描法测定了其极化阻力，用ＳＥＭ观察了其形貌，用俄歇电子谱仪分析了膜的成分，用Ｘ－射线衍
【机 构】
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清华大学,中国科学院空间科学与应用研究中心
【出 处】
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中国空间科学技术
【发表日期】
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1996年1期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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