纳米晶PZT薄膜叠层型体声波滤波器的研究

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设计了一个以纳米晶PZT为压电薄膜的叠层型体声波滤波器(SCFBAF),并在ANSYS11.0中用3D有限元方法对其幅频特性进行仿真与研究,实验结果表明,该SCFBAF工作在682.64MHz时带宽约为280kHz,1781.36MHz时约为320kHz,能满足高工作频率、窄带宽的需要。相比传统滤波器,该种SCFBAF具有可集成和低功耗等优点,将在下一代无线通信射频前端系统中发挥重要作用。
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