纳米晶PZT薄膜相关论文
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采用改进的溶胶-凝胶(Sol—Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用Ⅺ射线衍射、电镜扫......