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稀土元素钇改善离子镀TiN膜与基材结合力的研究

来源 :金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：JK0803_fanti

【摘 要】

：

本文叙述了添加稀土元素Y改善了离子镀TiN膜与基材的结合力,并且通过电子探针(EPMA)、透射电镜(TEM)和X射线衍射相分析等手段,对稀土元素Y在离子镀TiN(IP-TiN)膜中的行为和存

【作 者】

：

金柱京 于力 戴少侠 于志明 

【机 构】

：

中国科学院金属腐蚀与防护研究所,中国科学院金属腐蚀与防护研究所,中国科学院金属腐蚀与防护研究所助理研究员,沈阳文萃路

【出 处】

：

金属学报

【发表日期】

：

1989年1期

【关键词】

：

Y TIN膜 基材 结合力 离子镀膜 ion plated TiN coating adhesion Y 

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本文叙述了添加稀土元素Y改善了离子镀TiN膜与基材的结合力,并且通过电子探针(EPMA)、透射电镜(TEM)和X射线衍射相分析等手段,对稀土元素Y在离子镀TiN(IP-TiN)膜中的行为和存在形态进行了分析,进一步探讨了稀土元素Y改善IP-TiN膜与基材结合力的机制,从而肯定了稀土元素Y提高IP-TiN膜与基材结合力的作用。

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