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微机电系统（MEMS）正在受到越来越多的关注，但是缺少合适的机载电源使其应用被大大限制，成为制约其发展的瓶颈，因此开发一种小体积，高能量密度，长使用寿命的优质新型电源迫在眉睫。近年来，辐射伏特效应同位素电池的研究在国内外广泛开展，它是利用半导体结型器件的特殊性质，以放射性同位素作为驱动源，将衰变能转换为电能。这种电池具有理论转换效率高、使用寿命长、免维护、抗干扰性强等优点加之放射性同位素具有很大的能量密度，可以使电池（微）小型化和轻质（量）化；其主要结构一换能单元是半导体器件，因此很容易与MEMS一体化。