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本文主要研究了polysilicon Buffered Locos(PBL)叠层腐蚀后PITING的问题.
关于PBL叠层腐蚀后PITTING的研究
【摘 要】
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本文主要研究了polysilicon Buffered Locos(PBL)叠层腐蚀后PITING的问题.
【机 构】
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无锡微电子科研中心二室
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年5期
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