Applications of Inverted Pyramids Corroded by TMAH in PERL Silicon LED

来源 :半导体光子学与技术：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：HUANming520

【摘要】

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In this paper,a novel and reliable structure of the side passivated emitter and the rear locally-diffused(PERL)silicon light emitting diodes(LEDs)is proposed.Th

【作者】

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GENG Bo-yun LI Xiao-yun NIU Pi

【机构】

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SchoolofInformationandCommunicationEngineering

【出处】

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半导体光子学与技术：英文版

【发表日期】

：

2009年4期

【关键词】

：

氢氧化铵金字塔 LED 硅腐蚀 PERL 应用硅发光二极管各向异性刻蚀 PERL structure silicon LED inverted pyr

【基金项目】

：

Foundation item： Youth Science Foundation project（60706015）

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In this paper,a novel and reliable structure of the side passivated emitter and the rear locally-diffused(PERL)silicon light emitting diodes(LEDs)is proposed.The inverted pyramids surface,the important interface in this structure,is given according to the

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