【摘 要】
：
利用柠檬酸体系抛光液研究了苯并三氮唑(BTA)缓蚀剂对铜化学机械抛光过程和抛光效果的影响,并通过X射线光电子能谱仪、紫外可见吸收光谱仪及表面电位测试和电化学分析等手段
论文部分内容阅读
利用柠檬酸体系抛光液研究了苯并三氮唑(BTA)缓蚀剂对铜化学机械抛光过程和抛光效果的影响,并通过X射线光电子能谱仪、紫外可见吸收光谱仪及表面电位测试和电化学分析等手段分析了抛光液中BTA缓蚀剂在铜化学机械抛光过程中的作用机理.结果表明,当H2O2存在时,抛光液中BTA作为阳极缓蚀剂吸附在抛光表面,提高了阳极铜溶解的平衡电位,并通过缩合反应生成保护膜,减小了抛光后的表面粗糙度,提高了表面质量,同时在一定程度上增加了抛光过程中的摩擦系数.另外,BTA对SiO2抛光磨粒具有一定的吸附作用,进而对抛光效果产生一定的影响,抛光磨粒表面吸附层的存在会减小抛光过程中的摩擦系数.
其他文献
所谓权利乃是社会主体在法律框架内享有的自由行使自我意志的一种行为权限或资格。在政治共同体中,所谓意志的自由不能超过法律覆盖的边界,且每一种意志自由的行使都必须与其
采用纳米压痕仪研究了单晶铜和单晶硅径向纳动的运行特点和损伤过程．结果表明：径向纳动的残余压痕深度随循环次数增加急剧减小，而纳动循环中载荷-位移曲线在闭合前表现为1个迟滞
以单晶硅作为研究对象，选用离子注入剂量分别为5×10^14ions／cm^2、6×10^15ions／cm^2和1×10^17ions／cm^2，注入能量为110keV的氮离子注入单晶硅片，利用原位纳米力学测
合成出1种新的无硫、磷有机钼配位化合物（MCC），采用SRV摩擦磨损试验机评价所制备的有机钼配位化合物作为润滑油添加剂对钢／钢摩擦副摩擦磨损性能的影响，并探讨了其润滑机理．结果表
道路运输作为综合运输体系中的重要组成部分,肩负着加快自身发展和统筹综合发展双重任务,要在经济社会发展的大格局和工业农业的布局特点中去全面认识道路运输的比较优势,要
随着各高校大学生的日益增多，学校管理工作也变得异常困难。此时，就需要一批有作为的大一新生骨干参与学校的管理工作。因此，高校对于新生骨干的培养就显得尤为重要。探讨了大一
当前我国处于社会转型的关键阶段，在物质经济高度发展的今天，人们对精神层面的需求呼声日渐高涨，然而社会上的道德缺失现象却在近几年愈演愈烈。提升道德底线的方法：在外部因素上
设计出1种能够模拟基于单晶硅材料微机电器件侧面摩擦副摩擦磨损状况的试验机，有效模拟可动MEMS器件摩擦副之间磨损的真实状况，介绍了试验机测试机构的工作原理并从理论计算及
食品质量管理学是食品质量与安全专业、食品科学与工程专业的一门重要的专业课。结合食品质量管理教学的实践，对CAI在食品质量管理学教学中的应用、食品质量管理学CAI课件开发