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分别在石英衬底和c面蓝宝石衬底上制备了ZnCdO薄膜和ZnCdO/ZnO多量子阱结构。XRD和PL测试分析表明该ZnCdO薄膜具有单一取向和高晶体质量。对多量子阱结构进行低温PL测试得到较强的势阱层发光峰和较弱的势垒层发光峰,表明高质量的多量子阱结构。变温PL测试表明该多量子阱结构在室温下仍然具有优良的光学性能。