用改造后的柯氏干涉仪测量量块中心长度的测量不确定度评定

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通过用633nm短频He-Ne激光代替氪灯,提高小数测量的准确度等措施,对常规柯氏干涉仪进行了改造,结果获得测量量块中心长度的标准不确定度为μc=√-(5.5nm)^2+(8.3×10^-8L)^2,大大优于一等量块的最大允许不确定度。
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