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EFAB技术可实现真三维金属微结构器件的快速、自动化、批量制造，是微加工领域一项重大的突破。介绍了EFAB技术原理，并对其加工设备、分层技术、实时掩模、过程监控等关键技术进行了剖析，通过与其他微加工技术对比，揭示其在微加工技术群中的优越性，给出了应用实例。
EFAB工艺关键技术评述
【摘 要】
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EFAB技术可实现真三维金属微结构器件的快速、自动化、批量制造，是微加工领域一项重大的突破。介绍了EFAB技术原理，并对其加工设备、分层技术、实时掩模、过程监控等关键技术进
【机 构】
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成都航空职业技术学院
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2008年8期
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