Fe^2+注人Al_2O_3陶瓷及其退火改善材料表面电学性能的研究

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对透明Al_2O_3陶瓷进行了Fe元素的离子注入。用“Van der Pauw”方法测定注入层的电阻率,并结合Hall效应测量,确定样品载流子浓度和迁移率。 本文主要阐述未经退火和退火的Fe~(2+)注入Al_2O_3陶瓷表面电性能,并应用Rutherford背散射技术等方法进行分析比较,试图得到有关晶格损伤及恢复、注入离子的纵向浓度分布,缺陷等信息。最后,简要地叙述了注入层的导电机制。
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