STM和AFM的研制

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叙述STM(扫描隧道显微镜)和AFM(原子力显微镜)的主要关键技术和研制情况。在研制的STM和AFM样机上,对1200l/mm光栅进行测量,得出本样机的测量重复性可达10%以内。对研制的样机进行分析和对比后提出:STM和AFM,尤其是AFM,技术上已趋于成熟;使用上简单、方便,已达到实用化程度,可以作为高级表面粗糙度测量的常用计量仪器。
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