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主要介绍1种用硅的微机械加工技术研制的硅电容式传感器，采用电容层析法(ECT)技术可检测尺寸为50μm左右的微小粒子。其中的主要技术有硅材料的微机械加工技术，特厚光刻胶的匀胶曝光技术，微集成电镀技术。
用微硅层析法制作的微型硅传感器
【摘 要】
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主要介绍1种用硅的微机械加工技术研制的硅电容式传感器，采用电容层析法(ECT)技术可检测尺寸为50μm左右的微小粒子。其中的主要技术有硅材料的微机械加工技术，特厚光刻胶的匀
【机 构】
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西安微电子技术研究所,英国曼彻斯特科技大学
【出 处】
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电子元器件应用
【发表日期】
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2003年4期
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