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微电子机械系统的发展及未来
微电子机械系统的发展及未来
来源 :光电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hacker01
【摘 要】
:
介绍了微电子机械系统(MEMS)的技术、材料、器件及应用,讨论了它的发展趋势及将来的市场。
【作 者】
:
乔希竹
【机 构】
:
南京电子器件研究所
【出 处】
:
光电子技术
【发表日期】
:
2000年1期
【关键词】
:
微电子机械系统
微型化
多样化
微电子集成
microelectromechanical system (MEMS)
microactuator
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介绍了微电子机械系统(MEMS)的技术、材料、器件及应用,讨论了它的发展趋势及将来的市场。
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