【摘 要】
：
以脆性材料单晶硅为研究对象,采用微铣削工艺技术,探讨单晶硅在雾性冷却条件下的塑性去除机理,研究不同切削工艺参数对单晶硅表面质量的影响,通过正交实验的方差分析得出,影
【机 构】
：
辽宁工业大学机械工程与自动化学院,东北大学机械工程与自动化学院
论文部分内容阅读
以脆性材料单晶硅为研究对象,采用微铣削工艺技术,探讨单晶硅在雾性冷却条件下的塑性去除机理,研究不同切削工艺参数对单晶硅表面质量的影响,通过正交实验的方差分析得出,影响表面质量的主次因素依次为进给速度、铣削深度、主轴转速,获得的优化工艺参数即主轴转速为48 000 r/min,铣削深度为5μm,进给速度为20μm/s时,表面粗糙度最小,即表面质量最好。研究结果为脆性材料的塑性去除机理提供一定的理论参考和实验依据。
其他文献
由中国模具工业协会和上海市国际展览有限公司联合主办的中国国际模具、制造应用设备及相关工业展览会（DMC2013）已定将于2013年6月18日-21日在上海新国际博览中心E1-E4馆举行。
中国汽车工业的突围受制于很多因素，在诸多困难中落后的发动机技术无疑是最难突破的一个瓶颈。和奇瑞、吉利从低端发动机做起不同，华晨从开始就确定要抢占发动机的“制高点”，从
通过模糊聚类分析方法将不同位置测点的温度按特征进行归类,用热误差敏感度分析方法从每一类别中选出一个最优测点组成最优测点组合,实现数控机床温度测点优化,并利用最小二
很多中国人对越野车和SUV的认识都是从三菱开始的，确切地说是从帕杰罗（Pajero）开始的。这款征战巴黎-达喀尔拉力赛的名驹从一开始便是如此吸引世人，以致2001年换代的第三代Pajero
利用有限元分析技术,考虑横梁受滑鞍主轴箱等外力作用引起的变形,得到横梁的反变形曲线。精加工时,先利用雷尼绍激光检测技术,得到考虑材质分布不均,横梁自重变形的实际曲线;
<正>【课标点击】1.了解宪法对公民基本权利和义务的规定,懂得正确行使权利、自觉履行义务。2.知道公民的人身权利受法律保护,任何非法侵害他人人身权利的行为,都要承担相应
抛光垫表面沟槽结构是决定抛光液抛光效果的重要因素之一.为了研究抛光垫表面沟槽对化学机械抛光过程的影响,设计并搭建了高速摄影仪在线检测平台,检测并研究了有无沟槽及不
雪铁龙C4 Coupé在2004年巴黎国际车展上首次亮相，自投放以来大获成功。凭借让人赏心悦目的外形设计，不到2年的时间全世界就售出45万辆。C4 Coupé的外形设计获得了许
2005年日内瓦车展上，福特公司的S-MAX作为一款概念车首次向公众展示。次年的2月，同样在日内瓦车展上，福特就宣布了S-MAX的量产计划，并于5月正式在欧洲上市销售，仅用7个月的时间，销
如果说几年前两厢车在国内市场上还举步维艰的话，现在随着各大厂商纷纷推出并热卖两厢车．可以看出这个市场已经打开了局面，从最初的受冷遇，到现在成为都市年轻人的新宠，两厢轿车的