HgCdTe器件中pn结结区扩展的表征方法

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:renbaoshouxian
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报道了液氮温度下激光束诱导电流(LBIC)和Ⅰ-Ⅴ测试两种在HgCdTe器件中pn结结区扩展的表征方法.通过LBIC和Ⅰ-Ⅴ测试,发现了P型HgCdTe材料中由B+离子注入成结和干法刻蚀成结对材料造成的损伤使得有效结区范围大于注入和刻蚀面积,并获得n区横向扩展.同时,通过对比,相互印证两种方法得到的测试结果一致.
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