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本文首先介绍了纳米测量技术的现状，纳米测量系统的三个主要部分即纳米传感技术；扫描测量系统；信息处理及图象分析技术，最后就纳米测量技术的前景题提出了看法。
纳米科学测量与传感技术
【摘 要】
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本文首先介绍了纳米测量技术的现状，纳米测量系统的三个主要部分即纳米传感技术；扫描测量系统；信息处理及图象分析技术，最后就纳米测量技术的前景题提出了看法。
【机 构】
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清华大学精仪系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1995年S1期
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