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铜铌溅射超导四分之一波长谐振腔的研究

来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：y51211

【摘 要】

：

建立了一套直流溅射系统以及其它辅助装置。溅射参数得到控制，测量了腔的超导性能和铌膜的特性。 Established a DC sputtering system and other auxiliary devices. Sputte

【作 者】

：

郝建奎 赵夔 张保澄 谢大林 孙银娥 王莉芳 杨志涛 

【机 构】

：

北京大学重离子物理研究所!北京１００８７１,北京大学重离子物理研究所!北京１００８７１,北京大学重离子物理研究所!北京１００８７１,北京大学重离子物理研究所!北京１００８７１,北京大学重离子物理研究所

【出 处】

：

核技术

【发表日期】

：

2000年01期

【关键词】

：

四分之一波长 谐振腔 加速器 超导 超导性能 直流溅射 辅助装置 薄膜 磁控溅射 成膜性能 

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建立了一套直流溅射系统以及其它辅助装置。溅射参数得到控制，测量了腔的超导性能和铌膜的特性。 Established a DC sputtering system and other auxiliary devices. Sputtering parameters were controlled and the superconducting properties of the cavity and the properties of the niobium film were measured.

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