【摘 要】
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采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3（0001）衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的
【机 构】
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南昌大学教育部发光材料与器件工程研究中心
【基金项目】
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国家高技术研究发展计划（批准号：2003AA302160）和电子信息产业发展基金资助项目.
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采用常压金属有机化学气相沉积技术在Al2O3（0001）衬底上生长出高质量的ZnO薄膜.用X射线双晶衍射ω和θ-2θ扫描、室温光致发光研究了不同生长温度对ZnO薄膜的结构、发光性能的影响.结果表明,随着生长温度的升高,ZnO薄膜的c轴晶格常数逐渐增大,a轴晶格常数逐渐变小,同时带隙相应逐渐增大.
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