【摘 要】
：
对垂直腔面发射激光器（VCSEL）的AlxGa1-xAs／GaAs分布布拉格反射镜（DBR）进行了高温湿法氧化．由于AlxGa1-xAs层的氧化产生了应力而导致Al2O3／GaAs界面处出现了孔洞．这些孔洞反过来又缓
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所材料科学重点实验室,北京工业大学光电子技术实验室
【基金项目】
：
国家重点基础研究发展计划（批准号：G2000068303,2002CB311905）,国家自然科学基金（批准号：60390071,60276014,90101002,90101004.90201033）及国家高技术研究发展计划（批准号：2002AA311070,2002AA311020,2002AA31II70）资助项目
论文部分内容阅读
对垂直腔面发射激光器（VCSEL）的AlxGa1-xAs／GaAs分布布拉格反射镜（DBR）进行了高温湿法氧化．由于AlxGa1-xAs层的氧化产生了应力而导致Al2O3／GaAs界面处出现了孔洞．这些孔洞反过来又缓解了应力而使氧化层的厚度只收缩了8％而不是理论上的20％．并且，随着氧化时间的延长，湿法氧化反应中的反应物和产物沿着多孔界面在氧化物中的传输越充分，从而使AlGaAs层的氧化进行的越完全，氧化质量就越好．
其他文献
<正> 贪污、受贿、投机倒把等腐败现象,近年来十分猖獗,已经严重地侵蚀了党的肌体,损害了党的威信,引起了全国人民的忧虑与不满。如何严厉惩治这些犯罪分子,铲除腐败,是摆在全党、全国人民面前的一件刻不容缓的大事。1989年8月15日最高人民法院和最高人民检察院根据1989年7月举行的中共中央政治局全体会议的建议和有关法律的规定,发出了《关于贪污、受贿、投机倒把等犯罪分子必须限期内自首坦白的通知》,从而把惩治腐败的斗争推进到一个新的阶段。但是,在惩治腐败的斗争中能否正确适用刑法武器关系极为重大。本
报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜，其中复合静电驱动结构由一个平板驱动器和一个垂直梳齿驱动器构成．实验表明，该新
<正> 一、我国公民个人所有权的产生我国法律上的公民个人所有权是指公民在法律允许范围内对依法属于自己所有的财产享有完全的、充分的支配权,以及这种权利的主体、客体,权利的取得和行使等诸方面的规定。公民个人财产包括生产资料和生活资料两大类,但又不是可以截然分开的。生活资料指公民的劳动收入、
设计并流片制作了基于GaAsPHEMT工艺的Ka波段微波单片集成压控振荡器(MMICVCO)．该VCO具有紧凑、宽电调谐带宽及高输出功率的特点．提出了缩小芯片面积及增大调谐带宽的方法，同时
提出了有机掺杂电致磷光器件中主体（TPD）与客体（Ir（ppy）3）间的能量转移几率表达式，并对能量转移过程进行了讨论，结果表明：（1）三态激子能量转移率（KHG，KGH）随主客体分子间距离R指数增加，KHG随
<正> 原告(某地区物资局机电公司)、被告(某市电子应用公司)双方于1991年1月在上海签订汽车购销合同。该合同规定:被告供应进口皇冠牌豪华轿车8辆给原告,每辆价格9万元,货款共72万元,原告预付货款50％,并支付定金5万元,当年3月底由原告派人到广州验收,岳阳交货。合同签订后,原告即按合同规定汇给被告预付款36万元
采用CSMC0.6μm2P2MCMOS工艺设计并实现了一种新型可用于智能光模块的可变阈值信号丢失（LOS）检测电路,电路利用光接收机中的限幅放大器组成准对数律接收信号强度指示电路.该指
<正> 党的十一届三中全会以来,我国社会的经济生活和法制建设都发展到了一个新的历史阶段。与转换经济模式和加强社会主义法制相适应,人们的民主意识和法律观念也有了显著提高。但是,我们必须看到,这种思想观念上的变革还远远赶不上经济生活本身的发展速度,别特是当十二届三中全会决定将我国的经济性质定义为有计划的商品经济之后。这种旧的法律意识与经济发展的不协调现象愈益突出,建立和完善适合我国社会主义经济发展的法律观,已成为保障改革的顺利进行、促进商品经济进一步发展的迫切要求。
<正> 私人企业的兴起,向传统的所有制理论和分配理论提出了严峻的挑战,也给立法者提出了新的课题。赵紫阳同志在十三大报告中指出:“必须尽快制订有关私营经济的政策和法律,保护它们的合法利益,加强对它们的引导、监督和管理”。为此,本文拟就上述问题略陈个人管见。一、私人企业的性质及其存在的必然性随着经济体制改革的不断深入和城乡个体工商业的迅速发展,全国城乡出现了一大批请帮手带学徒超过国家政策和法律规定人数的雇工大户,雇工人数少的十几人,多的
制备了采用半背沟注入的浮体和体接触部分耗尽SOI nMOSFETs．测试结果表明这样的器件相对于传统的部分耗尽SOI nMOSFETs来说，在提高击穿电压和延缓翘曲现象发生方面有良好的表现