JM—2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统

来源 :半导体光电 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kimleetj007
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文章介绍了JM-2型背照式PIN光电探测器对位显微监视系统的工作原理,以及在烧结工艺上的应用和实验结果,其工艺精度可达0.05mm。
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