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100nm线宽的掩模硅片自动对准算法
100nm线宽的掩模硅片自动对准算法
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:a263537545
【摘 要】
:
对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准
【作 者】
:
梁友生
周金梅
曹益平
邢廷文
【机 构】
:
四川大学光电科学技术系,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2004年9期
【关键词】
:
掩模硅片
对准
对准模型
坐标阵列
最小二乘法
Reticle-wafer
Alignment
Alignment model
Coordinate array
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对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准精度的要求.
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