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对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准精度的要求.
100nm线宽的掩模硅片自动对准算法
【摘 要】
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对100nm线宽尺寸建立了掩模硅片自动对准数学模型,应用于同轴加离轴对准系统的硅片模型、掩模模型以及工件台模型中,该对准算法模型有一定可行性,能很好地满足100nm线宽对准
【机 构】
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四川大学光电科学技术系,中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年9期
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教学内容：青岛版一年级数学课本第93页，94页 教学目标： 1.经历统一长度单位的过程,体会统一长度单位的必要性。 2.认识刻度尺，初步认识长度单位“厘米”，借助实物初步建立1厘米的长度观念。 3.初步学会用刻度尺测量物体的长度，并通过估测，形成初步的估测意识。 4.在测量活动中，体验合作学习的乐趣，养成做事认真的习惯。 教学重点：认识厘米，体会厘米的实际意义，会用厘米进行简单的测量，