【摘 要】
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利用激光分子束外延方法在温度为573K的单晶硅（100）衬底上制备了不同氧压条件下的氧化锌薄膜，对其结构和光学特性进行了研究．结果表明：所有的ZnO薄膜都具有很好的C轴择优取向．在氧
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利用激光分子束外延方法在温度为573K的单晶硅（100）衬底上制备了不同氧压条件下的氧化锌薄膜，对其结构和光学特性进行了研究．结果表明：所有的ZnO薄膜都具有很好的C轴择优取向．在氧压为1Pa时，薄膜紫外发光最强，半高宽最窄（101meV）．变温发光光谱表明：当温度从80K升至室温时，制备氧压为1Pa的薄膜未发现可见光发射；而制备氧压为30Pa的薄膜随着测量温度的降低，出现了可见光发射，并且随着测量温度的降低，与氧空位、氧占位和氧替锌位相关的缺陷发光峰出现红移，而与氧替锌位发光峰相近的锌位缺陷发光峰出现蓝
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