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在４７３－５２３Ｋ的低温退火条件下，通过对ＣｏＮ／ＣＮ软Ｘ射线多层膜一级调制峰强度增强的定量观测，研究了ＣｏＮ／ＣＮ软Ｘ射线多层膜的界面互扩散行为，产测得低至１０＾－２５ｍ６２ｓ＾－１的有效扩散系数。通过和Ｃｏ／Ｃ多层膜的结果相比较，发现Ｎ掺杂使ＣｏＮ／ＣＮ软Ｘ射线多层膜的界面互扩散行为明显不同于Ｃｏ／Ｃ多层膜，并具有如下特点：（１）有儿扩散系数和宏观扩散系数较小；（３）扩散激活能较大；（３）临床