半导体激光器非平面液相外延技术

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本文阐述了非平面液相外延生长的基本机理及其在半导体激光器制作中的重要作用。将非平面外延与平面外延生长进行了比较。详细讨论了影响InP非平面液相外延生长的几个技术问题。 This paper describes the basic mechanism of non-planar liquid-phase epitaxial growth and its important role in the fabrication of semiconductor lasers. Non-planar epitaxy and planar epitaxial growth were compared. Several technical problems affecting the non-planar liquid phase epitaxy of InP are discussed in detail.
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