【摘 要】
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本文以四甲基锡与Pt(CFACAC)作为工作物质,通过激光光致热分解和光分解,在石英基片上和电子显微镜碳膜上沉积锡膜与铂膜,研究光分解和光致热分解产生的膜层的结构与形成,测定膜层的沉积速率。文中给出了膜层沉积速率的一种新测定方法,用该方法可测定工作物质的蒸汽压。由光分解引起的锡膜沉积速率与光强成线性关系,并一直保持到小银灯的微弱光强,说明了四甲基锡的分解是单光子过程。由于涉条纹的最小距离可知,光分
【出 处】
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中国科学(A辑 数学 物理学 天文学 技术科学)
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本文以四甲基锡与Pt(CFACAC)作为工作物质,通过激光光致热分解和光分解,在石英基片上和电子显微镜碳膜上沉积锡膜与铂膜,研究光分解和光致热分解产生的膜层的结构与形成,测定膜层的沉积速率。文中给出了膜层沉积速率的一种新测定方法,用该方法可测定工作物质的蒸汽压。由光分解引起的锡膜沉积速率与光强成线性关系,并一直保持到小银灯的微弱光强,说明了四甲基锡的分解是单光子过程。由于涉条纹的最小距离可知,光分解沉积的分辨本领可小于0.2微米。
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