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期刊论文
等厚干涉测量微位移
等厚干涉测量微位移
来源 :科技风 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fengeryqq
【摘 要】
:
本文介绍了在多级光杠杆测量微位移的基础上,结合光学的等厚干涉原理以及光路可逆原理,设计出一种理论上测量精度达1nm以下微位移测量方案.相对于纯粹的光杠杆测量微位移方法
【作 者】
:
查勇
童智申
潘望军
【机 构】
:
武汉理工大学物理系,湖北武汉,430070
【出 处】
:
科技风
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
光杠杆
等厚干涉
光路可逆
微位移
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本文介绍了在多级光杠杆测量微位移的基础上,结合光学的等厚干涉原理以及光路可逆原理,设计出一种理论上测量精度达1nm以下微位移测量方案.相对于纯粹的光杠杆测量微位移方法而言,该方法在系统设计上更具优势.
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