论文部分内容阅读
起步早、门类全可以说是对我国半导体设备业发展历史的概括。但是，目前，与国外先进水平相比，国内设备的加工线宽相差几个技术档次，我国半导体设备产业已成为半导体和集成电路产业链中最薄弱的环节之一。我国半导体设备产业的发展前景究竟如何，我国半导体设备行业的春天离我们还有多远？专家认为，“十一五”将有可能成为我国半导体设备业的重要转折期。