Er离子注入Al2O3光波导薄膜的发光特性研究

来源 :中国激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tcy789

【摘要】

：

采用溶胶-凝胶和离子注入复合工艺在氧化的Sio2/Si(100)基片上制备掺Er3+:Al2O3光学薄膜.900℃烧结,掺Er3+:Al2O3薄膜的相结构是γ-Al,Er)2O3和θ-(Al,Er)2O3的混合物.室温下

【作者】

：

王兴军王辉陈涛雷明凯

【机构】

：

大连理工大学材料工程系表面工程研究室

【出处】

：

中国激光

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

薄膜物理学掺Er3+光波导放大器离子注入 Al2O3 溶胶-凝胶法

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采用溶胶-凝胶和离子注入复合工艺在氧化的Sio2/Si(100)基片上制备掺Er3+:Al2O3光学薄膜.900℃烧结,掺Er3+:Al2O3薄膜的相结构是γ-Al,Er)2O3和θ-(Al,Er)2O3的混合物.室温下测量不同注入剂量的掺Er3+:Al2O3光学薄膜的光致发光谱,均获得了中心波长为1.533 pm的发光曲线.900℃烧结制备掺EPr3+:Al23光学薄膜光致发光强度随着注入剂量从0.2×1016 cm-2增加到4×l016cm-2而逐渐增加.而1200℃烧结制备掺Er3+:Al2O3光学薄膜的光致发光强度随着掺杂浓度从0.2×1016 cm-2增加到4×1016grN-2先增加后减小.

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