【摘 要】
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远离平衡生长的Cu/a-C∶H双层膜具有网络分形的结构。在本实验条件下,测量出它的分维数D_f≈1.83。在TEM中对该双层膜进行缓慢加热的原位动态观察,发现原有的网络结构在535℃
【机 构】
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清华大学机械系,西北大学,西北大学 北京100084
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远离平衡生长的Cu/a-C∶H双层膜具有网络分形的结构。在本实验条件下,测量出它的分维数D_f≈1.83。在TEM中对该双层膜进行缓慢加热的原位动态观察,发现原有的网络结构在535℃时完全遭到破坏,同时随着Cu膜的退火缩聚,逐渐出现随机分布的缩聚区,此区的分维值随着退火温度的上升而下降,最后在850℃时变为D_f=1.63。利用金属原子的表面与界面扩散模型,可以解释这种结构特征的变化。
The Cu / a-C: H bilayer membranes grown away from equilibrium have a network fractal structure. Under the experimental conditions, its fractal dimension D_f≈1.83 was measured. The in-situ dynamic observation of the bilayer membrane in TEM showed that the original network structure was completely destroyed at 535 ℃. At the same time, with the annealing and polycondensation of Cu film, polycondensation zone randomly distributed gradually The fractal dimension of the zone decreases with the increase of annealing temperature, and finally becomes D_f = 1.63 at 850 ℃. The use of metal atom surface and interface diffusion model can explain this structural change.
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