【摘 要】
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高质量的空心玻璃微球一直是激光惯性约束聚变实验最广泛采用的靶丸之一，因商用空心玻璃微球的生产方法不能满足实验需要，陆续开发了新的制备方法，如液滴法、干凝胶法、溅射法和
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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高质量的空心玻璃微球一直是激光惯性约束聚变实验最广泛采用的靶丸之一，因商用空心玻璃微球的生产方法不能满足实验需要，陆续开发了新的制备方法，如液滴法、干凝胶法、溅射法和降解芯轴技术等。综述了几种方法的制备原理、成球过程、微球产品的特点、在惯性约束聚变实验制靶中的地位以及国内外发展现状等。液滴法制备的微球直径小、壁较薄，干凝胶法制备的微球直径稍大、壁较厚，溅射法主要用于制备阻气层，而降解芯轴技术则将空心玻璃微球产品直径和壁厚范围扩大，所制备的空心玻璃微球是所有制备方法中直径最大和性能最好的。
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