【摘 要】
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众所周知,GaAs MESFET器件的微波特性主要由沟道中的电子饱和速度和栅长决定。由于InGaAs的电子饱和速度比GaAs的大,用InGaAs替代GaAs作沟道就可以改善器件的微波性能。为此
【机 构】
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南京电子器件研究所,南京电子器件研究所,南京电子器件研究所,南京电子器件研究所,南京电子器件研究所 210016,210016,210016,210016,210016
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众所周知,GaAs MESFET器件的微波特性主要由沟道中的电子饱和速度和栅长决定。由于InGaAs的电子饱和速度比GaAs的大,用InGaAs替代GaAs作沟道就可以改善器件的微波性能。为此进行了InGaAs/GaAs HFET的研究。HFET的结构与n~+-AlGaAs/InGaAs/GaAs HEMT(PM-HEMT)结构比较有下述几个特点:①由于不含Al组分,就不存在所谓DX中心深能级的问题;②提供载流子的n-GaAs层的掺杂浓度比n~+-AlGaAs层的低,故器件的击穿电压高,这很适合制作功率器件;③器件工艺与通常的GaAs MESFET相同,器件的可靠性问题容易解决。
It is well known that the microwave characteristics of GaAs MESFET devices are mainly determined by the electron saturation speed in the channel and the gate length. As the InGaAs electron saturation rate than GaAs large, GaAs instead of GaAs channel with InGaAs can improve the microwave performance of the device. In this regard, InGaAs / GaAs HFETs were studied. HFET structure and n ~ + -AlGaAs / InGaAs / GaAs HEMT (PM-HEMT) structure compared with the following characteristics: ① because there is no Al component, there is no so-called DX center deep level problem; ② provide Carrier n-GaAs layer doping concentration is lower than the n ~ + -AlGaAs layer, so the breakdown voltage of the device is high, which is very suitable for making power devices; ③ device process and the usual GaAs MESFET, the device reliability Easy to solve sexual problems.
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