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电池片背面钝化层沉积工序，面临着划痕对AL2O3钝化层损伤的困扰，对电池片转换效率的提高产生了不良影响。分析产生划痕的主要因素，通过试验加以工艺验证，最后提出解决划痕的有效办法。
单晶PERC电池片AL2O3钝化层划痕的解决方法
【摘 要】
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电池片背面钝化层沉积工序，面临着划痕对AL2O3钝化层损伤的困扰，对电池片转换效率的提高产生了不良影响。分析产生划痕的主要因素，通过试验加以工艺验证，最后提出解决划痕的有效
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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工业设计
【发表日期】
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2017年5期
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