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通过对近年来国内CFD仿真技术在电子工厂洁净室应用的深入分析，从洁净室气流组织、大型洁净室模拟等效及简化方法、洁净室污染物扩散研究等几个方面，总结了目前CFD仿真技术在电子工厂洁净室应用研究现状。结合目前应用研究的不足，指出了CFD仿真技术在国内电子工厂洁净室的发展趋势。
国内CFD仿真技术在电子厂房洁净室的应用研究现状及趋势分析
【摘 要】
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通过对近年来国内CFD仿真技术在电子工厂洁净室应用的深入分析，从洁净室气流组织、大型洁净室模拟等效及简化方法、洁净室污染物扩散研究等几个方面，总结了目前CFD仿真技术在电子工厂洁净室应用研究现状。结合目前应用研究的不足，指出了CFD仿真技术在国内电子工厂洁净室的发展趋势。
【机 构】
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洁净与空调技术
【出 处】
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洁净与空调技术
【发表日期】
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2022年02期
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