【摘 要】
:
以有机玻璃薄片为原料,进行反应离子深刻蚀,探讨了有机玻璃的刻蚀反应机理,着重研究了工作气压和功率密度对刻蚀速率、图形形貌的影响.结果表明,O2反应离子刻蚀有机玻璃是以
论文部分内容阅读
以有机玻璃薄片为原料,进行反应离子深刻蚀,探讨了有机玻璃的刻蚀反应机理,着重研究了工作气压和功率密度对刻蚀速率、图形形貌的影响.结果表明,O2反应离子刻蚀有机玻璃是以化学刻蚀为主,同时离子碰撞作用也很重要.刻蚀速率开始随气压增大而加快,刻蚀速率主要受氧活性粒子浓度控制;气压超过一定值时,刻蚀速率反而减小,气压太高不利于各向异性刻蚀.刻蚀速率随功率增加而增大,适当增大功率有利于各向异性刻蚀.通过优化刻蚀工艺,可以获得侧壁较陡直光滑的有机玻璃微结构,扩展了加工微结构的方法.
其他文献
<正>问:什么是引进国(境)外专家资助项目?申报项目可得到何种资助和优惠?答:是指通过国家外国专家局和广西外国专家局的支持,邀请和经费资助国(境)外专家到我区政府部门、企
通过深入研究无刷直流伺服电机的矩形波电流控制中存在的问题,在对逆变器的开关状态和恒频采样PWM的原理作进一步分析的基础上,提出频采样PWM方法,该方法能使逆变器的工作频率稳定在希
在简单描述免疫系统中克隆选择和形状空间理论的基础上,提出了一种新的、基于形状空间的克隆选择算法.将该算法用于对多峰值函数的寻优,能得到很好的结果;借用遗传算法的积木
在一定条件下,处理横向磁场中的阴极斑点会出现停滞或反向运动。从电力角度出发,将单个阴极斑点看成一个达到动态平衡的质点,提出了单个阴极斑点运动模型,分析了阴极斑点发生正反
借助分配集箱微元控制体动量方程中静压分布参数与动量交换系数的关系,及三通中直管局部阻力系数的表达式,推导出分配集箱静压分布参数的表达式.该表达式考虑了集箱结构尺寸
提出了一种双管正-反励组合变换器,分析了工作原理和器件电压应力,导出了正、反励变压器传输功率的分配比率与两变压器的匝比和导通占空比的关系,讨论了最大占空比限制,并进
在行波母线保护的基本原理和动作判据的基础上,给出了对应一个半开关接线方式的原理方案.小波变换作为新的数学分支,在这里用来提取电流行波信号中的故障信息,实现原理方案.
为了研究番茄在不同基质下耗水规律及生长指标数学模拟,于2018年在河北农业大学农田水利试验室开展试验,试验中采用3种基质,分别是A(原状土经过自然风干后与沙子、蛭石按体积
介绍了在没有预先测量控制点的情况下,通过引入相对控制条件,主要依靠计算获得所需点云数据的近场摄影测量方法.它使得测量可以随时随地地进行,而不再受某些实验场或者被测物体过于庞大等条件的限制,跳过了依赖于控制点测量方法中由于手工操作引入误差的环节,用适量的计算量换取了测量的灵活性,并获得了较高的精度.
为减少语音识别中声学模型的参数量,提高参数训练的鲁棒性,基于声学决策树结构,提出利用模糊聚类分析方法对模型参数聚类,包括高斯聚类和方差共享.对大词汇量汉语连续语音识别的实验结果表明:高斯模糊聚类使高斯数减少25%时,识别率提高了0.15%.进一步做模糊方差共享,当方差减少到初始模型的24%,与同样参数量的未进行聚类的模型相比,误识率下降了3.01%,证明了模糊聚类分析在语音参数聚类中的有效性.