【摘 要】
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以精密导轨研磨抛光机为研究对象,针对Al2O3陶瓷导轨的特性、导轨加工机床结构特点和机床加工、装调难度,对精密导轨研磨抛光机进行了总体设计。以ANSYS静力学分析和模态分析
【机 构】
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中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
【基金项目】
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国家重大科研装备研制项目(ZDYZ2013-1)
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以精密导轨研磨抛光机为研究对象,针对Al2O3陶瓷导轨的特性、导轨加工机床结构特点和机床加工、装调难度,对精密导轨研磨抛光机进行了总体设计。以ANSYS静力学分析和模态分析为依据,对机床主体结构、主轴结构等进行了设计。最后,利用研制的精密导轨研磨抛光机对Al2O3陶瓷导轨进行试件加工,利用Zygo平面干涉仪检测面形,最终面形精度PV值0.63λ（λ=632.8nm）,具有很高的精度。
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