【摘 要】
：
采用紫外光辐照超低介电常数多孔SiCOH薄膜,研究不同照射时间对薄膜结构和性能的影响。采用动态纳米压入技术测量薄膜的力学性能,发现随照射时间增加,薄膜的模量（Er）和硬度（H）不
【机 构】
：
复旦大学材料科学系,复旦大学微电子学系
论文部分内容阅读
采用紫外光辐照超低介电常数多孔SiCOH薄膜,研究不同照射时间对薄膜结构和性能的影响。采用动态纳米压入技术测量薄膜的力学性能,发现随照射时间增加,薄膜的模量（Er）和硬度（H）不断提高。当辐照时间增至6h时,薄膜力学强度分别达到Er约7.4GPa,H约1.0GPa。傅里叶变换红外光谱（FT-IR）、X射线光电子能谱（XPS）分析表明紫外辐照处理能够使薄膜样品中发生键的断裂与重新结合,从而改变了薄膜骨架的交联密度和刚性,进而提高力学性能。但介电性能并未受到明显影响,紫外辐照6h后,k值仅从2.0增至2.2。
其他文献
写生是对自然法则、自然生命气象、精神的一种“移植”和“描摹”。从历代画学、画论中可以看出，写生被赋予很多的文化精神意蕴，表现为不断地对自然具体物象的超越，“饱游饫看”
在园林设计中,花镜设计对于园林设计有着非常重要的意义。通过研究各种相关资料,根据我国园林景观的特点特性,分析花镜设计的要点,探讨花镜的特点与构成,对各种不同的花镜设
以富硼渣为主要原料,碳黑作还原剂,用硅灰和Al（OH）3调整成分,采用碳热还原氮化法合成MgAlON基复合粉体。通过XRD、SEM等检测手段研究了配料中配碳量、MgO添加量对反应过程及产
选取1994-2016年京、津、冀外企数量、外商投资额与入境商务旅游3个数据指标,综合运用协整分析、平稳性检验、格兰杰因果检验等方法,研究三地FDI与入境商务旅游(IBT)之间的关
<正>据悉,2014年九三学社将向全国政协十二届二次会议提交提案45篇,其中涉及国土资源工作的达10篇,约占总数的22%。据九三学社中央副主席丛斌介绍,九三学社向中央提交的政协
采用高温固相法合成了Sr2Al2SiO7∶Re（Re=Eu2＋,Ce3＋）荧光粉,研究了Eu2＋和Ce3＋在该基质中的发光特性,以及Eu2＋、Ce3＋共掺时的能量传递现象。研究表明Sr2Al2SiO7∶Eu2＋激发光谱呈宽带激
目前为止,心血管内科在护理方面的临床应用还存在着一定的风险和问题,心血管内科护理在心血管疾病的治疗过程中是十分重要的,但是目前还没有一定的规范,但是目前已经得到了人
CdZnTe晶体是一种性能优异的室温核辐射探测器材料。在熔体法生长CdZnTe晶体的过程中，生长炉的内部温场分布对获得的晶体结构和性能有很大影响。根据CdZnTe晶体的生长习性，设计
用（yxl）-16．51°切型的钽酸锂（LiTaO3）加工制作两个电极在同一基板平面的横向场激励器件来验证该材料的横向场激励特性。理论上用扩展的Christoffel—Bechmann方法计算了LiTaO
文章在借鉴国内外学者研究成果并梳理地方政府隐性债务相关理论的基础上,首先,分析了我国地方政府隐性债务现状及成因,可以看出,地方政府隐性债务的形成是由财政体制因素、财