【摘 要】
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离子铣工艺是随着固体器件向精细几何图形发展的同时而发展起来的。本文讨论了离子铣的优点以及对离子束系统的要求。考虑了从实验系统逐步扩大到生产系统所涉及的问题。叙述
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离子铣工艺是随着固体器件向精细几何图形发展的同时而发展起来的。本文讨论了离子铣的优点以及对离子束系统的要求。考虑了从实验系统逐步扩大到生产系统所涉及的问题。叙述了具有批量处理片子能力的大直径的离子束系统的进展。
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