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厚膜HIC金属封装腔内水汽的影响及控制
厚膜HIC金属封装腔内水汽的影响及控制
来源 :电子产品可靠性与环境试验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:aeo55121891
【摘 要】
:
分析了厚膜HIC金属封装腔内的水汽对器件可靠性的影响,封装腔内水汽的主要来源,采用工艺控制后达到的良好效果。
【作 者】
:
李双龙
【机 构】
:
天水华天微电子有限公司
【出 处】
:
电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
:
2004年03期
【关键词】
:
厚膜混合集成电路
腔内水汽含量
可靠性
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分析了厚膜HIC金属封装腔内的水汽对器件可靠性的影响,封装腔内水汽的主要来源,采用工艺控制后达到的良好效果。
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