【摘 要】
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频率裂解是影响半球谐振陀螺性能的主要因素之一。硅微半球陀螺谐振子球壳的厚度为μm量级,半径为mm量级,小而脆弱的谐振子导致修调难度大,针对此问题,文中通过有限元仿真的
【机 构】
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高性能复杂制造国家重点实验室,华东光电集成器件研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目(51875585,51875584)
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频率裂解是影响半球谐振陀螺性能的主要因素之一。硅微半球陀螺谐振子球壳的厚度为μm量级,半径为mm量级,小而脆弱的谐振子导致修调难度大,针对此问题,文中通过有限元仿真的方法分析了在硅半球壳谐振子唇边进行打孔对频率裂解的影响规律。得到了“应该在低频模态上打孔以减小频率裂解”、“修调的加工精度需要在微米级甚至是亚微米级”、“修调的频率裂解较小时,应优先使用深宽比较大的孔”等结论,该仿真结果将为实践中确定合适的修调工艺参数提供理论指导。
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